Fundamentals of semiconductor fabrication

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: May, Gray S
Weitere Verfasser: Sze, Simon M
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: New Jersey John Wiley 2004
Schlagworte:
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie das erste Tag hinzu!

MARC

LEADER 00000am aa2200000a 44500
001 OHA-20260330-1602
003 OSt
005 20260619090906.0
008 260619b |||||||| |||| 00| 0 eng d
100 |a May, Gray S 
245 |a Fundamentals of semiconductor fabrication 
260 |a New Jersey  |b John Wiley  |c 2004 
700 |a Sze, Simon M/ 
942 |c BK 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 621_000000000000000_381M466  |7 0  |9 84009  |a MSIT  |b MSIT  |c GEN  |d 2026-03-30  |g 4.50  |l 0  |o 621.381M466  |p 21783  |r 2026-03-30 21:23:30  |t 1  |v 4.50  |w 2026-03-30  |y BK 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 621_000000000000000_381M466  |7 0  |9 84010  |a MSIT  |b MSIT  |c GEN  |d 2026-03-30  |g 4.50  |l 0  |o 621.381M466  |p 21784  |r 2026-03-30 21:23:30  |t 2  |v 4.50  |w 2026-03-30  |y BK 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 621_000000000000000_381M466  |7 0  |9 84011  |a MSIT  |b MSIT  |c GEN  |d 2026-03-30  |g 4.50  |l 0  |o 621.381M466  |p 21785  |r 2026-03-30 21:23:30  |t 3  |v 4.50  |w 2026-03-30  |y BK 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 621_000000000000000_381M466  |7 0  |9 84012  |a MSIT  |b MSIT  |c GEN  |d 2026-03-30  |g 4.50  |l 1  |o 621.381M466  |p 21786  |r 2026-04-06 15:12:34  |s 2026-04-06  |t 4  |v 4.50  |w 2026-03-30  |y BK 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 621_000000000000000_381M466  |7 0  |9 84013  |a MSIT  |b MSIT  |c REF  |d 2026-03-30  |g 4.50  |l 0  |o 621.381M466  |p 21787  |r 2026-03-30 21:23:30  |t 5  |v 4.50  |w 2026-03-30  |y REF 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 621_000000000000000_381M466  |7 0  |9 84014  |a MSIT  |b MSIT  |c GEN  |d 2026-03-30  |g 4.50  |l 0  |o 621.381M466  |p 21788  |r 2026-03-30 21:23:31  |t 6  |v 4.50  |w 2026-03-30  |y BK 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 621_000000000000000_381M466  |7 0  |9 84015  |a MSIT  |b MSIT  |c GEN  |d 2026-03-30  |g 4.50  |l 0  |o 621.381M466  |p 21789  |r 2026-03-30 21:23:31  |t 7  |v 4.50  |w 2026-03-30  |y BK 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 621_000000000000000_381M466  |7 0  |9 84016  |a MSIT  |b MSIT  |c GEN  |d 2026-03-30  |g 4.50  |l 1  |o 621.381M466  |p 21790  |r 2026-04-15 10:56:05  |s 2026-04-15  |t 8  |v 4.50  |w 2026-03-30  |y BK 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 621_000000000000000_381M466  |7 0  |9 84017  |a MSIT  |b MSIT  |c GEN  |d 2026-03-30  |g 4.50  |l 0  |o 621.381M466  |p 21791  |r 2026-03-30 21:23:31  |t 9  |v 4.50  |w 2026-03-30  |y BK 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 621_000000000000000_381M466  |7 0  |9 84018  |a MSIT  |b MSIT  |c GEN  |d 2026-03-30  |g 4.50  |l 0  |o 621.381M466  |p 21792  |r 2026-03-30 21:23:31  |t 10  |v 4.50  |w 2026-03-30  |y BK 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 621_000000000000000_381M466  |7 0  |9 84019  |a MSIT  |b MSIT  |c GEN  |d 2026-03-30  |g 4.50  |l 0  |o 621.381M466  |p 21793  |r 2026-03-30 21:23:31  |t 11  |v 4.50  |w 2026-03-30  |y BK 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 621_000000000000000_381M466  |7 0  |9 84020  |a MSIT  |b MSIT  |c GEN  |d 2026-03-30  |g 4.50  |l 0  |o 621.381M466  |p 21794  |r 2026-03-30 21:23:31  |t 12  |v 4.50  |w 2026-03-30  |y BK 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 621_000000000000000_381M466  |7 0  |9 84021  |a MSIT  |b MSIT  |c GEN  |d 2026-03-30  |g 4.50  |l 0  |o 621.381M466  |p 21795  |r 2026-03-30 21:23:31  |t 13  |v 4.50  |w 2026-03-30  |y BK 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 621_000000000000000_381M466  |7 0  |9 84022  |a MSIT  |b MSIT  |c GEN  |d 2026-03-30  |g 4.50  |l 0  |o 621.381M466  |p 21796  |r 2026-03-30 21:23:31  |t 14  |v 4.50  |w 2026-03-30  |y BK 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 621_000000000000000_381M466  |7 0  |9 84023  |a MSIT  |b MSIT  |c GEN  |d 2026-03-30  |g 4.50  |l 0  |o 621.381M466  |p 21797  |r 2026-03-30 21:23:31  |t 15  |v 4.50  |w 2026-03-30  |y BK 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 621_000000000000000_381M466  |7 0  |9 84024  |a MSIT  |b MSIT  |c GEN  |d 2026-03-30  |g 4.50  |l 0  |o 621.381M466  |p 21798  |r 2026-03-30 21:23:31  |t 16  |v 4.50  |w 2026-03-30  |y BK 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 621_000000000000000_381M466  |7 0  |9 84025  |a MSIT  |b MSIT  |c GEN  |d 2026-03-30  |g 4.50  |l 0  |o 621.381M466  |p 21799  |r 2026-03-30 21:23:31  |t 17  |v 4.50  |w 2026-03-30  |y BK 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 621_000000000000000_381M466  |7 0  |9 84026  |a MSIT  |b MSIT  |c GEN  |d 2026-03-30  |g 4.50  |l 0  |o 621.381M466  |p 21800  |r 2026-03-30 21:23:31  |t 18  |v 4.50  |w 2026-03-30  |y BK 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 621_000000000000000_381M466  |7 0  |9 84027  |a MSIT  |b MSIT  |c GEN  |d 2026-03-30  |g 4.50  |l 0  |o 621.381M466  |p 21801  |r 2026-03-30 21:23:31  |t 19  |v 4.50  |w 2026-03-30  |y BK 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 621_000000000000000_381M466  |7 0  |9 84028  |a MSIT  |b MSIT  |c GEN  |d 2026-03-30  |g 4.50  |l 0  |o 621.381M466  |p 21802  |r 2026-03-30 21:23:31  |t 20  |v 4.50  |w 2026-03-30  |y BK 
999 |c 4827  |d 4827 
650 0 |a Semiconductor fabrication.